Η φυσική εναπόθεση ατμών (PVD) και ιδιαίτερα η εναπόθεση με εξάτμιση είναι μια τεχνική εναπόθεσης κενού που χρησιμοποιείται για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών μέσω της συμπύκνωσης μιας εξατμισμένης μορφής του υλικού σε διάφορες επιφάνειες (π.χ., σε πλακίδια ημιαγωγών). Η μέθοδος επικάλυψης περιλαμβάνει μια καθαρά φυσική διαδικασία όπως η εξάτμιση κενού σε υψηλή θερμοκρασία αντί να περιλαμβάνει μια χημική αντίδραση στην επιφάνεια που πρόκειται να επικαλυφθεί όπως στην χημική εναπόθεση ατμών. Πιο συγκεκριμένα, το υλικό που πρόκειται να εναποτεθεί θερμαίνεται σε υψηλή πίεση ατμών με ηλεκτρική αντίσταση θέρμανσης σε "χαμηλό" κενό.

Φωτογραφία δύο θαλάμων θερμικής εξάτμισης που έχουν εγκατασταθεί στο Εργαστήριο Φυσικής Πολυμερών. Το πάχος της εναποτιθέμενης μεμβράνης καθώς και ο ρυθμός εναπόθεσης μετρώνται σε πραγματικό χρόνο με μικροζυγοστάθμιση κρυστάλλων χαλαζία (QCM).

Ένας διάτρητος μεταλλικός δίσκος μεμβράνης πάνω σε ένα πορώδες διηλεκτρικό υλικό (οξείδιο του αργιλίου) πάχους 60 μm. Το πάχος της μεμβράνης αργύρου είναι ~ 200 nm (συν ένα στρώμα παθητικοποίησης χρυσού 50 nm, άρα ~ 250 nm συνολικά). Οι οπές, διατεταγμένες σε χαλαρό εξαγωνικό μοτίβο, έχουν διάμετρο περίπου 200 nm και η μέση απόσταση μεταξύ των κέντρων τους είναι 300 nm. Περίπου το 30-40% της επιφάνειας καλύπτεται από οπές. Τα μέταλλα (άργυρος και χρυσός) εναποτίθενται με θερμική εξάτμιση.